OTL-PECVD-1200-1400-1200 sistema PECVD de zona tripla, composto por três fornos de tubo de vácuo de barra deslizante, câmara de vácuo de quartzo, fonte de energia de rádio-frequência, sistema de abastecimento de gás GX, sistema de bombeamento de gás, sistema de medição de vácuo, mecanismo de arrasto elétrico.

Características principais:

1, através da fonte de energia de radiofrequência para transformar o gás dentro da câmara de vácuo de quartzo em estado iónico.

PECVD é menor a temperatura necessária para a deposição de gás químico do que o CVD comum

3, o tamanho de tensão da película depositada pode ser controlado pela frequência da fonte de energia de rádio-frequência

O PECVD tem uma alta taxa de deposição de gás químico, boa uniformidade, alta consistência e estabilidade do que o CVD comum.

Amplamente utilizado em: o crescimento de várias películas finas, como: SiOx, SiNx, SiOxNy e silício amorótipo (a-Si: H), etc.

Este sistema PECVD de zona de três temperaturas é um sistema PECVD capaz de aquecer e resfriar rapidamente, com um par de trilhas elétricas instaladas em três fornos tubulares e um sistema de deslizamento elétrico disponível. Velocidades de aquecimento e resfriamento de até 100°C/min. Para obter o aquecimento mais rápido, o forno pode ser pré-aquecido até a temperatura definida e, em seguida, mover o forno para a amostraColoque. Para obter o resfriamento mais rápido possível, o forno pode ser movido para o outro extremo após o aquecimento da amostra. Velocidades de aquecimento e resfriamento podem ser alcançadas em ambientes de vácuo ou gás inerte10 ° C / s, um sistema PECVD de baixa custo para aquecimento rápido e resfriamento de zona de duas temperaturas.

Este sistema PECVD de zona de três temperaturas com fio de resistência Kanthal sueco e barra de carbono de silício como elemento de aquecimento, com estrutura de caixa de duas camadas e medidor de temperatura de controle de programa de 30 seções, acionamento de fase deslocada, controle de silício controlável, forno com fibra policristal de óxido de alumínio importado do Japão, vedação de flange de aço inoxidável em ambas as extremidades do tubo do forno, boca de ar e válvula instaladas na flange de aço inoxidávelE medidor de pressão, o vácuo ao bombear o vácuo pode atingir 10-3 Pa, dividido em duas zonas de temperatura, as duas zonas de temperatura podem ser controladas independentemente, definir diferentes temperaturas, fácil de usar, operação simples, o forno tem o equilíbrio do campo térmico, baixa temperatura da superfície, taxa de temperatura de elevação rápida, poupança de energia e outras vantagens, é universidades, institutos de pesquisa científica, empresas industriais e minerais para fazer queima atmosférica de alta temperatura Os produtos ideais para os nós, o crescimento de grafeno e o crescimento de várias películas finas.

(1), a espessura da extremidade quente da barra de carbono de silício é de 14 mm, o fabricante geral adota 12 mm, a extremidade de aquecimento é grossa, não é fácil dobrar, a carga superficial da barra é baixa e a vida útil é longa.

（2), o comprimento do extremo frio é de 210 mm, o fabricante geral usa 180 mm, a temperatura do topo do forno é baixa.

(3), a superfície da barra de carbono de silício é densa, e pode proteger melhor a barra de carbono.

Quando o circuito for sobrecorrente ou vazado, a abertura vazia será desconectada automaticamente

O forno de tubo atmosféricoPode.Equipado com uma interface de comunicação e software, pode controlar diretamente os vários parâmetros do forno através do computador, e pode observar do computador os valores de temperatura PV e SV do forno e o funcionamento do medidor, o computador da curva de aquecimento real do forno será desenhado em tempo real e pode salvar os dados de temperatura de cada momento, a qualquer momento

(1), moldagem por aspiração a vácuo de alta qualidade de alta pureza de óxido de alumínio de fibra policristalina de forno de cura.
2) Adopção da tecnologia japonesa.
(3), baixa capacidade térmica do material da fornalha, baixo fator de condutividade térmica, o que reduz a dissipação de calor, bom isolamento e alta taxa de reflexão. Equilíbrio de temperatura.
(4), o fio de óxido de alumínio do forno é fino e longo, resistente a altas temperaturas e resistente ao aumento do calor
(5), a superfície do fogão é limpa e não é fácil de remover o pó.

(Todos os aparelhos importados com certificação UL)