O sistema CVD é composto por um sistema de abastecimento de gás + forno tubular + sistema de bombeamento de gás, a temperatura máxima pode atingir 1200 graus, 1400 graus, 1600 graus, 1700 graus, a zona de aquecimento pode ser uma zona de temperatura única, uma zona de temperatura dupla, uma zona de temperatura tripla, etc., o vácuo extremo pode atingir 10-3Pa, o sistema de abastecimento de gás é o regulamento do fluxo pode ser um medidor de fluxo de prótons ou um medidor de fluxo flutuante, o número de vias de mistura de gás pode ser 2, 3, 4, 5 vias.

O sistema CVD de zona única de temperatura KTL-CVD-1400 é composto por um sistema de abastecimento de gás de 3 vias + forno de tubo KTL1400 + sistema de vácuo.

(1), a espessura do extremo quente da barra de silício e molibdeno D1 é de 7 mm, o fabricante geral adota 6 mm, a espessura do extremo de aquecimento é difícil de dobrar, a carga superficial da barra é baixa e a vida útil é longa.

（2), a tecnologia de curvatura a quente é usada, a resistência é uniforme e a vida útil é longa

(3), o comprimento da extremidade fria Lu é de 210 mm, o forno 400X300X300 é de 260, os fabricantes gerais usam 180 mm, a temperatura do topo do forno é baixa.

(4), a superfície da barra de silício e molibdeno é densa, e pode proteger melhor a barra de silício e molibdeno.

Quando o circuito for sobrecorrente ou vazado, a abertura vazia será desconectada automaticamente

O forno de tubo atmosféricoPode.Equipado com uma interface de comunicação e software, pode controlar diretamente os vários parâmetros do forno através do computador, e pode observar do computador os valores de temperatura PV e SV do forno e o funcionamento do medidor, o computador da curva de aquecimento real do forno será desenhado em tempo real e pode salvar os dados de temperatura de cada momento, a qualquer momento

(1), moldagem por aspiração a vácuo de alta qualidade de alta pureza de óxido de alumínio de fibra policristalina de forno de cura.
2) Adopção da tecnologia japonesa.
(3), baixa capacidade térmica do material da fornalha, baixo fator de condutividade térmica, o que reduz a dissipação de calor, bom isolamento e alta taxa de reflexão. Equilíbrio de temperatura.
(4), o fio de óxido de alumínio do forno é fino e longo, resistente a altas temperaturas e resistente ao aumento do calor
(5), a superfície do fogão é limpa e não é fácil de remover o pó.

(Todos os aparelhos importados com certificação UL)