Medidor de fluxo de massa inteligente Controlador de fluxo de pequeno volume Medidor de fluxo de massa de gás térmico
Utilização e características
Os controladores de fluxo de massa (MFC) são usados para medir e controlar com precisão o fluxo de massa de um gás. Eles desempenham um papel importante na pesquisa científica e produção na indústria de semicondutores e circuitos integrados, disciplinas de materiais especiais, indústria química, indústria, medicina e lâmpadas a vácuo. Suas aplicações típicas incluem: equipamentos de processo eletrônico, como difusão, extensão, CVD、 Oxidação, gravura de plasma, pulverização, injeção de íons; e equipamentos de revestimento, fusão de fibras ópticas, dispositivos de microreação, sistemas de distribuição de gás misturado, medição capilar, cromatografia de gás e outros instrumentos de análise.
Principais indicadores técnicos
Faixa de medição (20,30,50,100,200,300,500)SCCM (0 ~ 1,2,3,5,10)SLM
Precisão +1,5% F.S.
Linear +0,5 ~ 1,5% F.S.
Precisão de repetição +0.2% F.S
Tempo de resposta 10sec Características do gás: (1 ~ 4) sec
Diferença de pressão de trabalho 0.1 ~ 0.5MPa
Pressão 3Mpa 6Mpa 10Mpa
Temperatura ambiente de trabalho 0 ~ 70 ℃
Quantidade digital RS485 Protocolo MODBUS
Quantidade analógica DC 0 ~ 5V, 4 ~ 20mA opcional
Características elétricas: SLM
Alimentação DC +15V/24V opcional, medidor de fluxo <50mA, controlador <200mA
Conexão elétrica DB15
Taxa de vazamento 1×10 SCCSHe
Material da base Aço inoxidável 316L
Material de vedação Borracha de fluoro, borracha de butano, neoprene
Conexão de vias de ar Φ3, Φ6, Φ10, 1/8", 1/4", 3/8"
Nota: Os medidores de fluxo de massa e controladores de fluxo de massa são geralmente calibrados de fábrica com nitrogênio (N₂).
A unidade de fluxo de massa é especificada como: SCCM (ml/min padrão); SLM (L/min padrão)
Medidor de fluxo de massa inteligente Controlador de fluxo de pequeno volume Medidor de fluxo de massa de gás térmico