Marca: Gatan

Nome do modelo: Gatan SmartEMIC Sistema de medição de corrente de indução de feixe eletrônico

Fabricante: GATAN

Distribuidor: Opodong Co., Ltd.

Introdução geral do produto:

Características do produto:

O sistema de análise EBIC, que pode controlar o software em tempo real para capturar totalmente automaticamente o sinal de corrente sensível de feixe de elétrons (EBIC), obter informações de imagem EBIC, também pode obter informações de curva IV, zui pode testar a posição do nó PN, largura, comprimento de difusão menor, posicionamento do ponto de falha do material ou dispositivo, amplamente utilizado no campo dos semicondutores eletrônicos.

Características do sistema:

Sistema EBIC de alto desempenho e ruído terrestre para medições quantitativas de EBIC. O software de análise amigável da interface é executado na plataforma de software DigitalMicrograph.

Os sistemas SmartEBIC para SEM incluem:

• Amplificador EBIC controlado por computador e alimentado por bateria recarregável

• Banco de amostra EBIC (ASH) com sonda de tungstênio ajustável para contato de mesa. As amostras podem ser carregadas através do bloqueio de ar* com o adaptador Gatan adequado

• Interface com a mesa de amostras SEM

• Conexão de tomada e 4 ligações de cabo tipo BNC, alimentação de ar de baixo ruído, adequado para medição de EBIC e feixe eletrônico

• Sistema de controle digital de feixe eletrônico DigiScan II com tecnologia Fireware. Ele inclui duas entradas analógicas para capturar imagens de qualidade fotográfica ao mesmo tempo e oferece flexibilidade para controlar a intensidade do pixel, o tempo de permanência por ponto, a rotação de varredura e muito mais. Para alguns SEM, ele também pode comunicar os parâmetros operacionais do SEM através do software.

• Software de Micrografia Digital com plug-in avançado SmartEBIC para medições quantitativas, análise em tempo real e pós-processamento de contornos lineares

Parâmetros técnicos principais do produto:

O SmartEBIC permite a captação e análise quantitativa automática de sinais EBIC:

Sistema de controle de varredura:

Captura de dados de 1, 1, 2 ou 4 bits oferece uma gama dinâmica muito grande

Resolução de varredura de 16 x 1 a 8.000 x 8.000 pixels

Tempo de permanência do feixe de eletrões ajustável entre 0,5 ms / pixel e 300 ms / pixel

Ajuste automaticamente o tamanho da imagem para tornar o processo experimental EBIC mais conveniente

* 5, configurar o controlador Digi-Scan, o software em tempo real controla a captura totalmente automática, pode fazer análise quantitativa do sinal no momento da captura do sinal EBIC, sem necessidade de pós-processamento adicional,

* 6, informações de imagem EBIC podem ser obtidas e informações de curva IV também podem ser obtidas.

Controle de ruído:

1. Banco de amostras acessório EBIC especialmente projetado

2. Modo de enrolamento coaxial

Bateria de chumbo-ácido reutilizável (15 horas de vida útil)

4. Pode alterar o ganho do amplificador para otimizar a relação de sinal-ruído e largura de banda para a coleta de dados

5. Dois filtros RC de primeira ordem opcionais, filtros de passagem baixa ou alta

6. Modo de ampliação de baixa deriva

Fora do tempo de comunicação com o PC, o microprocessador do sistema muda automaticamente para o estado de sono.

8. Ferramentas ricas de processamento de imagem. Inclui ferramentas de afiamento, ferramentas de suavização e ferramentas de transformação de Fourier.

Pode ser adaptado com a tecnologia Lock-in (este sistema não é fornecido, tal sistema de configuração não irá analisar quantitativamente o sinal EBIC)

Rastreamento:

Realização através de software. +/-5V no modo de resolução de captura de 12bit (1,22mV).

Automação:

Mesmo quando os parâmetros do amplificador são mal definidos, o sistema otimiza automaticamente o tamanho da imagem para uma navegação mais conveniente

Configuração automática do desvio/ganho do amplificador

Software:

Medição de comprimento de difusão unidimensional do processo

Ampla gama de ferramentas de análise de varredura de superfície / varredura de linha, incluindo ferramentas de análise matemática, aplicações de filtragem e muito mais

Amplas opções de esquema de exibição de imagem, incluindo sobreposição de imagens eletrônicas secundárias com imagens EBIC

Linguagens de programação ajudam você a escrever software personalizado para seus experimentos

Principais áreas de aplicação do produto:

Teste de posição do nó PN, largura, comprimento de difusão de minor material metálico

Localização do ponto de falha do material ou dispositivo

Teste de densidade de erro de bits de materiais semicondutores

IV Teste de Características

Exemplos de aplicação:

Aplicação 1: teste de posição do nó PN, largura, comprimento de difusão menor

Aplicação 2: Localização do ponto de falha do material ou dispositivo

Marca: Gatan

Nome do modelo: Gatan SmartEMIC Sistema de medição de corrente de indução de feixe eletrônico

Fabricante: GATAN

Distribuidor: Opodong Co., Ltd.